随着微机械、微加工技术的发展，微型传感器也得到了快速的发展，MEMS加速度传感器就是其中的一种。许多半导体公司对MEMS加速度传感器的研究也取得了很大的成就，并且MEMS传感器也得到了广泛的应用。我们知道，频率是一种重要的工程参数，而MEMS加速度传感器又是一种前景广阔的电子器件。因此对利用MEMS加速度传感器进行频率测量的研究有着非常重要的现实意义。本文将重点介绍MEMS加速度传感器频率测量的方法和硬件电路设计。
首先，本文将概述MEMS加速度传感器的发展及发展趋势以及几种不同的MEMS加速度传感器、课题的研究内容，并阐述了本设计的内容和意义。
其次，本文将对MEMS加速度传感器的原理以及系统的检测原理做详细介绍。
最后，本文将详细的介绍硬件设计中用到的元器件的选型及模块的设计方法，并给出此次设计的硬件电路图。
关键词：频率；MEMS加速度传感器；硬件设计
目 录
1. 绪论1
1.1本课题的目的及研究意义.1
1.2 MEMS加速度传感器应用领域及分类1
1.2.1常见应用领域1
1.2.2加速度传感器分类2
1.3 MEMS加速传感器技术现状及发展趋势3
1.4 课题国内外研究状况5
1.5 课题的研究内容5
2. MEMS加速度传感器频率测量原理5
2.1 MEMS加速度传感器的工作原理5
2.2 MEMS加速度传感器频率测量的工作原理8
2.2.1 输出信号频率的测量原理.8
2.2.2 MEMS加速度传感器测量频率的硬件结构框图.8
3. MEMS加速度传感器频率测量的硬件设计.9
3.1选择元器件的原则.9
3.2单片机的选型.9
3.3加速度传感器的选型.13
3.4电压比较器的选型.15
3.5电源模块的设计. .18
3.5.1电路工作原理18
3.5.2设计电路图18
3.6液晶显示器的选型.19
3.7硬件接口的选型.21
3.8电源电平转换芯片MAX232介绍.21
5结论23
致谢.24
附录.25
附录A MEMS加速度传感器频率测量硬件电路图25
MEMS加速度传感器具有精度高、分辨率高、噪声低、功耗低、温漂低、抗过载和超小体积等技术优点，主要技术指标全面超越国内外同类产品。用MEMS加速度传感器来测量频率有着诸多优点，该测量方法可以应用于工业生产、航空航天、轨道交通、农业生产、地震探测、桥梁工程等方面。本课题的目的就是对利用MEMS加速度传感器测量频率的方法、实现的方法进行研究。
1.4 课题的国内外研究状况
MEMS加速度传感器是一种新型的半导体器件，与一般的传感器相比较具有测量精度高、分辨率高、抗过载能力强、可靠性好等优点。美国在MEMS加速度传感器以及微型导航系统技术方面处于世界领先地位，我国从20世纪80年代末开始了对微硅加工技术的研究，包括MEMS压力传感器、微型电动机和微型泵等。近几年来研究人员数目不断扩大，现在已经形成40多个机构单位的近50多个研究小组，在MEMS加速度传感器方面进行了大量的研究工作，不断取得进步，对于应用MEMS加速度传感器测量频率的研究国内外都比较少，在测量频率方面的应用也很低。
1.5 课题的主要研究内容
本系统采用AT89S51单片机，电压比较器LM339和LCD1602来实现对传感器ADXL345输出信号的检测。
具体的研究内容包括以下4点：
（1）电源电路的设计；
（2）单片机与显示屏的接口问题；
（3）对传感器输出波形的态形转换；
（4）用MEMS加速度传感器测频率的硬件设计；
